金融界2024年12月4日音讯，国家知识产权局信息数据显现，中芯南边集成电路制作有限公司请求一项名为“真空管路的气流逆止设备、真空泵体系”的专利，公开号CN 119062561 A，请求日期为2023年6月。

  专利摘要显现，一种真空管路的气流逆止设备和真空泵体系。所述真空管路包括：设备端管路、真空泵端管路和抽气阀，所述抽气阀的进气端衔接所述设备端管路，所述抽气阀的出气端衔接真空泵端管路。所述真空管路的气流逆止设备包括：榜首传感器，适于依据所述设备端管路内的气压输出对应的榜首电压信号，第二传感器，适于依据所述真空泵端管路内的气压输出对应第二电压信号，比较器，所述比较器的正相输入端衔接所述榜首传感器的输出端，所述比较器的负相输入端衔接所述第二传感器的输出端，所述比较器的输出端适于输出电压比较成果；联动部，适于依据所述电压比较成果输出操控信号，以操控所述抽气阀的进气端和出气端之间连通或封闭。