OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型敞开式管式炉，其最高作业时分的温度能够到达1100℃。炉管Φ130mm(或100mm)的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰，可在真空或气氛维护自然环境下对样品进行热处理。关于控温体系，可设置50段升降温程序，控温精度为+/- 1℃。此款管式炉最多可对5英寸的晶片进行退火。

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  ·5英寸的石英管和铰链法兰，广大的腔体可作为箱式气氛炉用（避免了箱式炉炉膛污染问题）

  ·能够作为模块，DIY ALD CVD PVD 蒸腾炉 回转炉等（详细请致电）

  ·选用高纯氧化铝纤维作为炉膛资料，而且外表涂有高温氧化铝涂层，可进步加热功率

  ·可选购电脑温度操控体系软件(用于YD858P系列操控器)用于操控升温曲线和导出数据；

  ·假如想要取得更高的线toor or better）可选购国产或进口高真空机组

  可选购铠装K型热电偶，经过法兰的铠装孔伸入到炉管内部，丈量样品的实践温度